Veeco推出最新INSIGHT三維原子力顯微
| VeecoInstruments公司公布推出最新InSight(TM)3D自動原子力顯微鏡（AFM）平臺，為45nm和32nm的半導(dǎo)體工藝帶來了非破壞性、高分辨率的快速測量方法。InSight3DAFM專為量產(chǎn)環(huán)境中要害尺寸（CD）、厚度和CMP的測量而設(shè)計。 VeecoCEOJohnR.Peeler表示，相較以前AFM，InSight3DAFM吞吐能力提高了三倍，每小時檢測晶圓數(shù)量達到30片，測量精度也增加了一倍，成為半導(dǎo)體三維測量的最新方法。在當今市場上，它是唯一能提供在線式、精確、非破壞性的三維測量五金|工具，可以縮短工藝開發(fā)和全面投產(chǎn)的時間，以提高客戶的擁有成本、降低制造風(fēng)險。 Veeco自動AFM業(yè)務(wù)部副總裁PaulClayton表示，在45nm及以下節(jié)點工藝中，現(xiàn)有的在線式測量技術(shù)僅限于CD計量，諸如CD-SEM和散射儀等技術(shù)測量很精確但不夠正確，會帶來嚴重的測量問題。而VeecoInSight可以將CD測量不確定性降至最低，從而提高工藝的可控性。 |
